製品情報 -Products-
エンジニアリングセラミックス日本ファインセラミックス株式会社
Japan Fine Ceramics Co.,Ltd.
エンジニアリングセラミックス 製造プロセス
ポンプ・シール用摺動部品、半導体・液晶製造装置用部品等は、原料調合から最終製品までの一貫体制により生産されています。
材料別ラインナップ
炭化珪素(SiC)
炭化珪素は、耐薬品性に優れているとともに高温待性が安定しています。
専用の大型雰囲気炉を用いて、長尺・大口径品にも対応します。
| ・高温機械強度 | ・耐摩耗性 |
| ・高熱伝導性 | ・耐食性 |
- 摺動部品（メ力二力ルシール、ベアリング他)
- ケミカルポンプ部品（シャフト、軸受け他）
- 半導体・LED製造装置用部品(ウェハーフォーク、ウェハーチャック、突上げピン、サセプ夕ー、MOCVDトレー他)
- 耐摩耗部品（ブラストノズル、粉砕機ライナ一他)
- 耐熱部品（バーナーノズル、熱交換器部品他)
窒化珪素(Si3N4)
窒化珪素は、 耐熱衝撃性に優れた材料です。
また高温での機械強度が高く、良好な耐摩耗性を有していることから各種産業機器に利用されています。
| ・耐熱衝撃性 | ・耐食性 |
| ・高温機械強度 | ・電気絶縁性 |
| ・耐摩耗性 |
- ベアリング部品(軸受け他)
- 半導体・液晶製造装置用部品(IC用検査台、クランパー、チャック、突上げ台、フォ一力スリング他）
- 耐摩耗部品(モ一夕一シャフト、軸受け他）
- 耐熱部品(バーナーノズル、金属溶融用ルツボ、スクイズロール他)
アルミナ(Ａl203)
アルミナは、良好な電気絶縁性を持ち、適度にバランスのとれた最もポピュラーな材質です。耐食性が高く、耐プラズマ性にも優れていることからエッチング装置等にも使用されています。
| ・電気絶縁性 | ・耐摩耗性 |
| ・耐熱性 | ・耐食性 |
- 半導体製造装置用部品(チャンバー部品、絶縁フランジ、ウェハーフォーク他)
- 電気絶縁部品(碍子、スペ一サ、ブッシュ他)
- 一般産業機械部品(シャフト、軸受け他)
- 耐摩耗部品(糸道、レール、ガイド他)
ジルコ二ア(ZrO2)
ジルコ二アは、常温において機械強度・破壊靱性が最も高く、 熱伝導性が低いのが特長です。
また、材料粒子径が小さいことから、高精度の仕上げ加工が可能なため、精密加工部品としての実用化が進んでいます。
| ・常温機械強度 | ・耐摩耗性 |
| ・常温破壊靭性 | ・断熱性 |
| ・金属に近い熱膨張係数 |
- 金型・治工具(各種金型、精密位置決め治具、熱処理治具、絶縁治具他)
- 刃物基材(スリッター他)
- 耐摩耗部品(粉砕機械パーツ、ガイドロール、自動機用チャック爪他)
詳細についてはメーカー『日本ファインセラミックス株式会社』のウェブサイトも参照ください。
